Honeywell AWM3300V小流量带放大气体质量流量传感器
AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器是输出为1-5V 的气体质量流量传感器，图1、图2、图3 分别为 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路图。
图1AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路
图2 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的双传感电路
3图 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的差分放大电路图
AWM3000系列气体质量流量传感器技术规格：10.0±0.01VDC
注：1、信号处理最初预热所须时间最多1 分钟
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的温飘
4、为防止损坏，最大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列气体质量流量传感器推荐型号:
