气体质量流量传感器
型号：103221302
产品特点
;灵敏度高，有极小的始动流量；
;传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补
偿，保证了流量计的高精度计量；
;在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比
达到了100:1甚至更高；
;各种连接方式，易于安装与使用；
;输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或
由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出
线性的模拟电压；
;LED显示瞬时流量和累积流量，允许现场用键盘配
置流量计参数；
;可记录自上电以来瞬时流量的最大值和最小值，具
有超量程指示功能；
;零点稳定度高；
;全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性；
;低功耗、低压损；
;响应速度快。
产品简介
气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系
列流量计均采用本公司自主研发（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清
洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安
装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计并配以多种信号输出，通过通
讯接口可实现对流量计的灵活配置与参数查询。
具备LED数字显示和按键功能，允许用
户在现场调整或查询流量计的参数。
产品应用
;环境监测
;电缆充气机
;麻醉机
;呼吸机
;设备通风检测装置
;其他工业应用
性能指标
部件描述
性能参数单位
通径：3 mm , 8mm
最大流量：5 SLPM, 50SLPM
量程比：100：1
精度%：±(1.5+0.2FS)
重复性%：0.75
零点输出漂移mV：±30
输出漂移% /℃：0.16
响应时间ms：100(默认，50，100，200，500，1000可设置)
工作电源：5～24Vdc，100mA
输出方式：RS232, RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc
显示方式：4位7段LED数码管显示，2个指示灯
指示单位：瞬时流量：SLPM；累积流量：SL
显示分辨率SLPM：0.01，0.1可设置
最大流量压损：600 Pa
最大工作压力MPa：1.0
工作温度℃：-10～+55
储存温度℃：-20～+65
工作湿度%RH：<95
机械接口：R 1/4, NPT 1/4, 4mm/6mm/8mm快速接头(可选)
键盘：三个按键
引出线：5针插头，配0.5m电缆
标准校准气体空气(或其他气体)，20℃，101.325kPa
重量g：57
工作原理
小流量气体质量流量计是自主研制的MEMS流量
传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气
体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成
稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，
形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将
测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理
并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不
同，因而能测量气体的质量流量或总流量。
安装使用
请按以下顺序安装和使用流量计：
1）打开产品包装盒，包装盒内应包含下列物品：
a）质量流量计一只；
b）带接头连接电缆一根；
c）说明书一份；
d）合格证一份;
2）确认产品无任何机械损坏;
3）将产品的引线按照所给定义正确连接到使用装置上;
4）确认连接正确后，接通电源;
5）接通电源预热15分钟后测量的参数值精度会更高。