HFS5001小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
产品特点：
- 传感器灵敏度高，有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 贴壁式安装，无直管段要求，易于安装与使用
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)或由上位机查询输出数据(RS232 / I2C)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸：
技术参数：
| HFS5001 |
量程范围 | 0～20,50,200,500,1000,或根据客户需求定制 | sccm |
| 量程比 | >100：1 | |
| 精度 | ±（1.5±0.2FS） | % |
| 重复性 | ±0.75 | % |
| 零点输出飘逸 | ±30 | mV |
| 输出飘逸 | 0.16 | %/oc |
| 响应时间 | 100（默认，50，100，200，500，100设置） | ms |
| 工作电源 | 8~18Vdc,50mA | |
| 输出方式 | RS232,I2C,模拟电压0.5~4.5Vdc | |
| 最大流量压损 | 900 | Pa |
| 最大流量压力 | 0.8 | MPa |
| 工作温度 | -5~+45 | oC |
| 存储温度 | -20~+55 | oC |
| 工作湿度 | <95%RH(无结冰、无凝露) | |
| 机械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接头（配转接模块） | |
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20oC,101.325kPa | |
| 重量 | 17.5 | g |
广州昊仪自动化设备有限公司
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