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高精度激光位移传感器

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高精度激光位移传感器(小位移测量)

产品系列:IL-S;IL系列 

原理:光学三角式,CMOS接收器

特点:直反式,高频响,不受背影物颜色影响,可现场显示

量程范围:10mm~1000mm

输出:4~20mA; 0~10VDC;±5VDC

Ethernet/IP;DeviceNET;RS232

线性度:0.075%F.S;

分辨率:1μm

宽工作温度范围:-10~+60℃

频率响应:0.33/1/2/5ms(4级可设)

防护性能:IP67

采用坚固的铝合金外壳封装

应用:半导体精密设备;滚动夹头位置检测;板材厚度测量;机器人手臂定位;平台倾斜度测量。

 

外形尺寸:

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规格参数
型号 IL/IL-S   线性度 0.075/0.1/0.25  
迟滞 1μm   重复性 1μm最小  
品牌 KEYENCE/基恩士   输出信号 模拟型  
加工定制 是   材料 金属  
材料晶体结构 单晶   材料物理性质 半导体  
防护等级 IP65   制作工艺 集成  
种类 位移      
包装参数
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