SM5651系列为带温度补偿、校准的双列直插微压传感器，该传感器性能优越，可采用恒流激励或恒压激励。SM5652系列为陶瓷基底贴装高稳定压阻压力传感器芯片，利用陶瓷基底上的厚膜电阻可进行零度校正和温度补偿.
特点： 微压0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi
l 恒流或恒压激励
l 温度补偿范围宽（0-60℃）
l 跨度校准正高达±2%
l 零点校准及温度补偿
l 高性能、稳定的硅芯片封装
l 表压和差压配置
应用:
1、医疗设备 呼吸机、麻醉机和监护仪
2、HVAC（空调）
3、水平监测
4、流量测量
5、工业控制
6、微差压变送器
7、泄漏仪、泄漏检测
8、差压变送器
9、压力校验仪
10、大气采样器
11、气相色谱仪、液相色谱仪
12、风压机
13、印染、纺织设备
14、风洞试验
15、臭氧分析仪
16、高铁产品
备注：
1、正压指的是从晶圆底部进入；增益，在工厂校准使用的是负压
2、对于SM5652,量程为0.15psi的满量程输出是23.75mV(***小)至26.25（）
3、测量温度超过22~58℃ 对于量程为0.15psi，满量程温度系数为±2%FS；零
点温度系数为±2%FS；对于量程为0.3psi，满量程温度系数为±0.75%FS
4、对于量程为0.3psi，迟滞性为±0.45%FS；对于量程为0.15psi，迟滞性为±
0.65%FS
5、直线拟合，是从晶圆顶部测量的 对于量程为0.3psi，线性度为
±0.5%FS；对于量程为0.15psi，线性度为±2.5%FS
6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度，对于量程为0.15psi，灵敏度匹
配性为5.0%FS
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